MEMS系統(tǒng)的3D振動測量
實(shí)物的振動通常是三維振動。雖然可選擇優(yōu)先顯示某特定方向的振動,但由于存在產(chǎn)品公差和其它影響,在其它空間方向也存在運(yùn)動分量。 MSA-100-3D顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時測量被測物體的動態(tài)特性,分辨率高,同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量,每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級。
典型應(yīng)用
· 慣性傳感器,如加速度計(jì)和陀螺儀
· 微機(jī)電傳感器和致動器 (MEMS)
· 打印機(jī)噴墨頭
· 壓力傳感器薄膜
· 耳機(jī)、微型鏡頭等