表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構(gòu)的測試和研發(fā)的關(guān)鍵，這對于驗證有限元算法、確定串?dāng)_效應(yīng)和測量表面形變是必不可少的。
MSA-600是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
典型應(yīng)用
· 微型結(jié)構(gòu)的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動
如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌
如：梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
