TopMap Pro.Surf系列產(chǎn)品，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結(jié)合的CST技術(shù)為核心，是一款極具特點(diǎn)的光學(xué)3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學(xué)3D輪廓儀集非接觸、大視場(chǎng)、納米級(jí)精度和70mm超大掃描范圍等技術(shù)特點(diǎn)于一身，能夠滿(mǎn)足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測(cè)量，此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標(biāo)準(zhǔn)的多種參數(shù)分析與評(píng)價(jià)，如粗糙度、平面度、臺(tái)階高度、平行度、波紋度等，廣泛應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)、燃油噴射系統(tǒng)、傳動(dòng)、密封、光學(xué)加工、精密半導(dǎo)體及3C行業(yè)和航天、航空、國(guó)防軍工和科研院所等領(lǐng)域。
典型應(yīng)用：
半導(dǎo)體：襯底、外延片平坦度和形貌測(cè)量，精密器件及傳感器
汽車(chē)行業(yè)：空氣懸掛組件，精密傳動(dòng)組件，燃油噴射系統(tǒng)，高壓油泵
密封行業(yè)：精密密封表面、泵閥類(lèi)密封組件
表面工程：摩擦學(xué)，涂層厚度，形變分析
3C電子：電子元件平整度，引腳位置，屏幕平面度、厚度均勻性，印刷電路
手表：組件平面度、臺(tái)階高度、平行度、輪廓，表鏡
