TopMap MicroView系列光學(xué)3D輪廓儀是一款功能強(qiáng)大的非接觸式表面輪廓測量儀器，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結(jié)合的CST技術(shù)為核心，是最新一代光學(xué)3D輪廓儀。TopMap MicroView系列光學(xué)3D輪廓儀擁有了無與倫比的測量能力，能夠滿足從超光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量，并且在所有倍率物鏡下都能提供亞納米級(jí)測量精度，此外，TMS軟件還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標(biāo)準(zhǔn)的多種參數(shù)分析與評價(jià)，例如，粗糙度、平面度、臺(tái)階高度、微觀幾何輪廓、波紋度等。
典型應(yīng)用：
精密加工：粗糙度，微觀結(jié)構(gòu)，加工機(jī)理分析
光學(xué)元件制造：粗糙度，面型輪廓
半導(dǎo)體：晶圓磨拋，IC制造，微型器件
表面工程：摩擦學(xué)，涂層，缺陷，變形
3C電子：屏幕粗糙度，殼體表面質(zhì)量
生物醫(yī)療：植入物粗糙度、輪廓
材料科學(xué)：材料結(jié)構(gòu)、顏色
