簡介:
激光是利用微型光學(xué)系統(tǒng)對微小物體進行振動測量,可以對MEMS等微結(jié)構(gòu)元件的振動和形狀進行精確測量,激光光斑達到微米級;
利用顯微成像系統(tǒng),可對目標(biāo)的振動狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移)進行實時觀測,并利用白光干涉法測量物體的形狀和特性。
工藝參數(shù):
操作溫度:3~45℃。
生產(chǎn)濕度:<90%
速率范圍:10米/秒
輸出電壓:10伏。
頻段:DC~3MHz。
尺寸:1/2;距離:9毫米(使用10X物鏡時)
數(shù)字?jǐn)z像機:320萬像素(USB2.0)
顯微式激光測振儀特征
1.無觸點測量,無負(fù)荷測量;
2.激光點很小,微米級;
3.高帶寬和動態(tài)范圍;
4.高空間分辨率;
5.任意操作距離;
6.高度靈活,安裝方便,操作簡單;
7.顯微式激光測振儀結(jié)構(gòu)緊湊,性能穩(wěn)定,測量精度高;
8.帶同軸照明裝置及照相機,可快速確定測量位置。
適用范圍:
微機電系統(tǒng)動態(tài)測試;
對諸如昆蟲和其他生物生物的振動特性進行醫(yī)學(xué)研究;
計算機動態(tài)測試:硬盤驅(qū)動器/光碟/磁帶等;
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