隨著科學技術和現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,振動測量技術在氣體泄漏檢測、航空發(fā)動機振動模態(tài)分析、橋梁等建筑物安全監(jiān)測以及MEMS精密制造等領域的需求日益迫切。
振動測量技術可分為機械式、電氣式和光學式三大類,而光學測振技術以其精度高、電氣絕緣、抗干擾強、頻率范圍廣等優(yōu)點,成為振動測量的重要發(fā)展方向。
隨著低損耗光纖的問世和新型光纖器件制作技術的不斷成熟,出現(xiàn)了高性能的光纖振動傳感器。低相干光纖微分干涉儀以其可測量絕對幅值,抗干擾能力強,無需機械調整,光程差自動匹配等優(yōu)點,可用于速度、振動等多種參數(shù)的絕對值檢測。
激光測振即利用光學普遍的折射、反射效應,以傳感器的激光束作為發(fā)射光源,對振動著的被測體進行點測、線測(二維測量)或三維測量(輪廓測量),同時把收集的測量數(shù)據經過內置軟件的一系列算法處理,得出被測體振動的相關參數(shù)的方法