隨著科學(xué)技術(shù)和現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,振動(dòng)測(cè)量技術(shù)在氣體泄漏檢測(cè)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)模態(tài)分析、橋梁等建筑物安全監(jiān)測(cè)以及MEMS精密制造等領(lǐng)域的需求日益迫切。
振動(dòng)測(cè)量技術(shù)可分為機(jī)械式、電氣式和光學(xué)式三大類,而光學(xué)測(cè)振技術(shù)以其精度高、電氣絕緣、抗干擾強(qiáng)、頻率范圍廣等優(yōu)點(diǎn),成為振動(dòng)測(cè)量的重要發(fā)展方向。
隨著低損耗光纖的問(wèn)世和新型光纖器件制作技術(shù)的不斷成熟,出現(xiàn)了高性能的光纖振動(dòng)傳感器。低相干光纖微分干涉儀以其可測(cè)量絕對(duì)幅值,抗干擾能力強(qiáng),無(wú)需機(jī)械調(diào)整,光程差自動(dòng)匹配等優(yōu)點(diǎn),可用于速度、振動(dòng)等多種參數(shù)的絕對(duì)值檢測(cè)。
激光測(cè)振即利用光學(xué)普遍的折射、反射效應(yīng),以傳感器的激光束作為發(fā)射光源,對(duì)振動(dòng)著的被測(cè)體進(jìn)行點(diǎn)測(cè)、線測(cè)(二維測(cè)量)或三維測(cè)量(輪廓測(cè)量),同時(shí)把收集的測(cè)量數(shù)據(jù)經(jīng)過(guò)內(nèi)置軟件的一系列算法處理,得出被測(cè)體振動(dòng)的相關(guān)參數(shù)的方法