激光測(cè)振技術(shù)要有可靠的傳感器
發(fā)布日期：2019-09-03 15:50:35
激光測(cè)振技術(shù)要基于微納米技術(shù)的可靠傳感器，那么微納米技術(shù)的優(yōu)勢(shì)是什么呢？
精確、可靠且快速的測(cè)量技術(shù)，在微系統(tǒng)在研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中的設(shè)備質(zhì)量監(jiān)測(cè)起決定性作用。越來(lái)越多的微型傳感器被應(yīng)用于安全相關(guān)的領(lǐng)域，這對(duì)可靠性和功能安全性均有很高要求，這就要求設(shè)計(jì)牢固，產(chǎn)品精度高。
采用純電子器件不能滿足微電機(jī)結(jié)構(gòu)元件(如MEMS 致動(dòng)器或傳感器等)的振動(dòng)測(cè)試需求，需要采用合適的光學(xué)測(cè)量方法。
有效測(cè)量晶片上的 MEMS
在芯片分離之前進(jìn)行晶片級(jí)測(cè)試可在早期生產(chǎn)過(guò)程中排出壞芯片，維持 MEMS 低生產(chǎn)成本，同時(shí)保持高產(chǎn)出和質(zhì)量水平。雖然這里電氣試驗(yàn)是標(biāo)準(zhǔn)程序，但還需要開展一些測(cè)試任務(wù)直接驗(yàn)證機(jī)械性能，通常采用的是光學(xué)測(cè)量。
